Esta parte de la norma INTE/ISO 14644 específica los requisitos mínimos para un plan de monitoreo del desempeño de un cuarto limpio o zona limpia relacionado con la limpieza del aire por concentración de partículas, basado en parámetros que miden o afectan la concentración de partículas llevadas por el aire. Esta parte de la norma INTE/ISO 14644 no se refiere al monitoreo de condiciones de aspectos como la vibración o mantenimiento general de los sistemas de ingeniería. Esta norma no está prevista para el monitoreo de poblaciones de partículas que están afuera del rango de tamaño de partícula, menor al umbral especificado de 0,1 μm a 5 μm. La concentración de partículas ultrafinas (partículas menores a 0,1 μm) será abordada en una norma separada.